微电子中英文对照表

　Q/S S

　上海天马微电子有限公司企业标准 Q/S0001-2007 T TFT 工艺流程、材料、设备、生产常用中英文标准名称

　版号：1.0 总页数：1 制定部门：制造部生效日期：2007 年 4 月 28 日 拟制：方永学 2007-4-3 审核：向传义 2007-4-3 标准化：吴乃亮 2007-4-25 会签：颜建军朱希玲 2007-4-20 蔡明宏 2007-4-24 凌志华 2007-4-3 批准：安德浩 2007-4-24 2007- -0 04 4 发 布 2007- -0 04 4 实施 上海 天马微 电子有限公司 发布

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　一．T TFT 工艺流程中英文标准名称

　 ArrayProcessFlow

　阵 列段工 艺流程

　Input

　投料

　Unpacking 拆包装 Initialclean 预备清洗 Particlecount 尘埃粒子测试 Gate

　栅电极层

　Cleanbeforedepo 成膜前清洗 Gate（Mo/Alalloy)Filmdepo 栅电极成膜 RSmeter 电阻测量 MacroInspection 宏观检查 CleanbeforePR 涂胶前清洗 Prebake 预烘 PRCoating 光刻胶涂布 PRvacuumdry(VCD) 光刻胶低压干燥 PRsoftbake 前烘 Expose 曝光 TitlerExpose/EdgeExpose 打标/边缘曝光 Develop 显影 PRhardbake 坚膜 ADI 显影后自动光学检查 Mic/MacInspection 宏微观检查 CDafterdevelop 显影后关键尺寸检查 Totalpitch 长寸测量 GateWetetch 栅电极湿刻 Contactangle 接触角测量 PRstrip 光刻胶剥离 CDafteretch 刻蚀后关键尺寸测量 AEI 刻蚀后自动光学检查 Micro/MacroInspection 宏微观检查 LaserRepair 激光修补 e Active 层

　Cleanbeforedepo 成膜前清洗 Activefilmdepo Active 成膜 AOI 自动光学检查 MacroInspection 宏观检查 ThicknessMeasurement 厚度测量 CleanbeforePR 涂胶前清洗 Prebake 预烘 PRCoating 光刻胶涂布 PRvacuumdry 光刻胶低压干燥 PRsoftbake 前烘 Expose 曝光 Develop 显影 PRhardbake 坚膜

　ADI 显影后自动光学检查 Mic/MacInspection 宏微观检查 ActivefilmDryetch&Ashing Active 膜干刻与灰化 ThicknessMeasurement 厚度测量 PRstrip 光刻胶剥离 AEI 刻蚀后自动光学检查 Mic/MacroInspection 宏微观检查 S/D

　源/ / 漏电极层

　Cleanbeforedepo 成膜前清洗 S/DMofilmdepo 源/漏电极成膜 RSmeter 电阻测量 MACROInspection 宏观检查 CleanbeforePR 涂胶前清洗 Prebake 预烘 PRCoating 光刻胶涂布 PRvacuumdry 光刻胶低压干燥 PRsoftbake 前烘 Expose 曝光 Edgeexpose 边缘曝光 Develop 显影 PRhardbake 坚膜 ADI 显影后自动光学检查 MIC/MACInspection 宏微观检查 CDafterdevelop 显影后关键尺寸检查 Hardbakebyoven 烘炉坚膜 S/DMoWetetch 源电极/漏电极湿刻 n+a-SiDryetch n+高掺杂膜干刻 PRstrip 光刻胶剥离 ThicknessMeasurement 厚度测量 CDafteretch 刻蚀后关键尺寸测量 AEI 刻蚀后自动光学检查 Micro/MacroInspection 宏微观检查 CleanbeforeO/Stest 短路/开路测试前清洗 Open/ShortTest 短路/开路测试 Passivation

　保护层

　Cleanbeforedepo 成膜前清洗 Pass"nfilmdepo 保护膜成膜 AOI 自动光学检查 MACROInspection 宏观检查 ThicknessMeasurement 厚度测量 CleanbeforePR 涂胶前清洗 Prebake 预烘 PRCoating 光刻胶涂布 PRvacuumdry 光刻胶低压干燥 PRsoftbake 前烘

　Expose 曝光 Edgeexpose 边缘曝光 Develop 显影 PRhardbake 坚膜 ADI 显影后自动光学检查 Micro/MacroInspection 宏微观检查 SinXDryetch&ASHING 氮化硅干刻与灰化 PRstrip 光刻胶剥离 AEI 刻蚀后自动光学检查 Micro/MacroInspection 宏微观检查 ITO

　O ITO 层

　CleanbeforePR 成膜前清洗 a-ITOfilmdepo ITO 成膜 RSmeter 电阻测试 Anneal 煺火 MacroInspection 宏观检查 CleanbeforePR 涂胶前清洗 Prebake 预烘 PRCoating 光刻胶涂布 PRvacuumdry 光刻胶低压干燥 PRsoftbake 前烘 Expose 曝光 Develop 显影 PRhardbake 坚膜 ADI 显影后自动光学检查 Micro/MacroInspection 宏微观检查 ITOfilmetch ITO 膜湿刻 PRstrip 光刻胶剥离 AEI 刻蚀后自动光学检查 Micro/MacroInspection 宏微观检查 FinalE/T

　最终电测

　Anneal 煺火 Arraytest 阵列测试 Arrayrepair 阵列修补 TEGtest TEG 测试 Sort 分级

　CellProcessflow

　制盒段工艺流程

　CFInput

　彩膜投料

　CFInitialClean 彩膜预备清洗 CFAOI 彩膜自动光学检查 CFSort 彩膜分级 PI

　配向膜

　CleanbeforePI 配向膜涂布前清洗 PIPrint 配向膜涂布 Pre-cure 预固化 PIInspection 配向膜检查 PIThickness?Measurement 配向膜厚度测量

　Main-cure 固化 PIrework 配向膜返工 ODF

　CF&TFTMatching CF&TFT 匹配 Rubbing 配向摩擦 RubbingInspection 摩擦检查 Loader&Unloader 上料机/下料机 Buffer 缓冲器 CSTBuffer 工装栏缓冲器 Rotation/CoolingUnit 旋转/冷却单元 TurnAlignUnit 旋转/对位单元 TurnOverUnit 翻转单元 AfterRubbingCleaner 摩擦后清洗 SpacerSpray 衬垫球散布 SpacerCounter 衬垫球计数 Spacerrework 衬垫球返工 SpacerCure 衬垫球附着固化 ShortDispense 导电胶涂布 SealantDispense 边框胶涂布 SealInspection 边框胶检查 LCDispense 液晶滴下 VacuumAssembly 真空贴合 UVCure 紫外线固化 Mis-alignmentcheck 错位检查 SealOven 边框胶热固化 EyeInspection 目视检查 CellgapMeasurement 盒厚测试 Cutting

　切割

　1/4(1/6)SheetCutting, 1/4(1/6)切割 StickCutting, 切条 CellCutting 切粒 VisualTest Visual 测试 ECP

　EdgeGrind 磨边 Dippingclean 浸泡式清洗 CleanbeforePol 贴片前清洗 PolAttach 贴片 PolInspection 贴片检查 Polrework 贴片返工 AutoClave

　AutoClave 消泡 LaserTrimmer

　LaserTrimmer 激光切线 Test

　测试

　GrossTest 终检 Repair 修补 Binsorter 分级 OQCTest 出货检查 Store 货栈

　 ModuleProcess Flow

　模块段工艺流程

　COG

　Padcleaning 端子清洗 ICBonding IC 邦定 MicroscopeInspection?AOI 镜检?自动光学检查 Adhesivetest 粘接力测试 FOG

　ACFAttaching ACF 粘贴 FOGBonding FOG 邦定 MicroscopeInspection 镜检 Peelingstrengthtest 拉力测试 ETtest1 电测 1 ICorFPCRepair 修补 UVgluesealing 封胶 FPCreinforcement 补强 UVgluecuring UV 胶固化 Assembly

　组装

　ETtest2 电测 2 anti-ultraviolettapeattaching 遮光胶带粘贴 protectedtapeattaching 保护胶带粘贴 Backlightassembly 背光源组装 Backlightsoldering 背光源焊接 Touchpanelassembly 触摸屏组装 FinalETtest 最终电测 Rework 返工 Aging 老化 QCtest QC 检验 Codeprinting 喷码 Packing 包装 OQCTest 出货检验 Finishedgoodshipment 合格品出货

　CIMname

　集成控制 系统 名称

　CIM

　计 算机集成制造系统

　CIMSystem 计算机集成制造系统 ManufacturingExecutionSystem(MES) 制造执行系统（MES）

　PreventiveMaintenanceSystem(PMS) 设备预防保养系统（PMS）

　StatisticalProcessControl(SPC) 统计过程管理（SPC）

　EquipmentAutomationProgram(EAP) 设备自动化（EAP）

　Report 报表 EngineeringDataAnalysis(EDA) 工程数据分析（EDA）

　FinishedGoodManagementSystem(FGMS) 成品管理系统（FGMS）

　Product 产品 Glass 玻璃基板 Panel 面板 ProcessFlow 工艺流程 Operation 操作

　EDC 工程数据收集 Equipment 设备 Chamber 腔体 Unit 单体 SubUnit 副单体 Port 端口 OIC(OperatorInterfaceClient) 操作者界面 EDB 工程数据库 FGMS 成品管理系统 Dispatcher 派货 Create 建立 Start 下线 Scrap 报废 Unscrap 取消保废 Complete 完成 Ship 出货 Unship 取消出货 Receive 收料 TrackIn 入账 TrackOut 出账 Wait 等待 Hold 滞留 Release 释放 Rework 返工 Vehicle 搬运车 Robot 机械手 AGV(AutomaticGuidedVehicle) 自动搬运车 MGV(ManualGuidedVehicle) 人工搬运车 Cleanlifter 净化电梯 LIM(LinearInductionMotor)Carrier 线性感应马达传送载具 OHS(OverheadHandlingSystem) 天车搬送系统 Stocker(cleandepot) 工装篮存放架 Battery 电池 Bay 作业区 Inter-bay 作业区和作业区之间 Intra-bay 作业区之内 Bumper 减震缓冲器 Charger 充电器 Controller 控制器 Conveyor 传送带 Crane 吊车（在 Stocker 内）

　FFU(FanFilterUnit) 风扇过滤器

　Host 主机 I/O(Input/Output) 输入/输出 IR(Infra-Red) 红外线 IRIF(Infra-RedInterface) 红外接口 Load 上料 Unload 下料 Magnetictape 磁条(AGV 路径所使用的磁条) Retrieve 检索 RTM(RotaryTransferMachine) 旋转传送机构 SCARAarm AGV 传送臂 Reset 重新设定 Transportation 传输 Recipe 工艺参数的组合 Stockout 将工装篮取出货栈 Request 要求,请求 Transfer 传送,运送 Instruction 命令,指令 Select 选择 Cancel 取消 Operation 作业,操作 Support 支援,支持 Process 工艺 Start 开始 Batch 批量 Lot 批(指生产线的在制品或产品控制单位) ID(Identity) 识别码(如 LotIDorChipID) Sheet 片(Array 区玻璃基版计数单位) Inspection 检验 Defect 缺陷 Hold 滞留 Release 释放 Equipment 设备（简称为 EQP）

　Tool 工具,机台 WIP(WorkInProcess) 在制品（工艺在制品）

　Maintenance 维修保养 Cassette 工装篮(阵列段),卡匣(制盒段及模块段) Empty 空的 Reserve 预备 Report 报告 Rework 返工 Logon 登录，入系统

　Logoff 注销登录，离开系统 Note 批注 Unpackingline 拆包线 Unpacker 拆包机 Glassconveyor 玻璃传送带 InitialCleaner 预清洗 Unloader 下料机 CassetteManualGuideVehicle(MGV) 工装篮人工搬运车 ArrayCassette Array 工装篮 ODFCassette ODF 工装篮 AutomatedMaterialHandlingSystem(AMHS) 自动物料搬运系统 CleanStocker(STK) 洁净工装篮存放架（STK）

　OverheadHandlingSystem(OHS) 天车搬送系统（OHS）

　MaterialControlSystem(MCS) 物料控制系统（MCS）

　CleanRobot 洁净机械手 Loader/Unloader 上/下料机 Sorter 分片机 二．T TFT 材料中英文标准名称

　类 型? ? Type

　Materialsname

　材料名称

　玻璃? ? Glass

　Glass 玻璃基板 Colorfilter 彩色滤光膜 Bareglass 白玻璃基板 LCDPanel 液晶面板 靶 材? ? Target

　AlNd/AlTarget 铝钕/铝靶材 MoNb/MoTarget 钼铌/钼靶材 ITOTarget ITO 靶材 化学液体? ? Chemical

　AlEtchant Al 蚀刻液 ITOEtchant ITO 蚀刻液 HNO3 硝酸 CH3COOH 乙酸 Developer 显影液 Stripper 剥离液 MEA 单乙醇胺 PhotoResist 光刻胶 OrganicPhotoResist 有机膜用光刻胶 Thinner 稀释剂 NMP N-甲基-2-吡咯烷酮 HF 氢氟酸 Acetone 丙酮 IPA 异丙醇

　Ethanol 酒精 辅 助器材? ? Submaterial

　PhotoMask 光罩 APRPlate APR 版 RubbingCloth 摩擦绒布 AdhesiveTape 双面胶布 Probeframeforarraytester 阵列电测架 E/TFrame 电测用探测架 CellETProbeUnit 屏电测用探测头 Open/Shorttesterandprober 开路、短路电测用探测头 TeflonTape 特氟龙带 Siliconrubber 硅胶皮 WiperTape 无尘卷布 高纯气体? ? High purity gas

　NF3 三氟化氮 SiH4 硅烷 SF6 六氟化硫 NH3 氨气 Cl2 氯气 HCL 氯化氢 CHF3 三氟甲烷 PH3 磷烷 CF4 四氟甲烷 N2 氮气 O2 氧气 H2 氢气 Ar 氩气 He 氦气 液晶? ? LC LC 液晶材料 胶 膜? ? Film

　Polarizer 偏光片 Diffuser 散光膜 涂料

　D D ope

　? ? Paint

　PI 聚酰亚胺 树 脂? ? Resin

　Sealant 边框胶 UVglue UV 胶 ACF 各向异性导电膜 ConductiveSpacer 导电衬垫球 SpacerusedinSealant 边框胶内衬垫球 SpacerusedinCell（White）

　盒内衬垫球(白）

　SpacerusedinCell（Black）

　盒内衬垫球(黑）

　元器件

　Parts

　BackLightUnit 背光源 Integratedcircuit/DriverIC 集成电路/驱动 IC PCB 印刷电路板

　FPC 柔性印刷线路板 ModuleFrame 模块外框 TouchPanel/Touchfilm 触摸屏/触摸膜 RCL 阻容器件 焊 接材料? ? Soldering? ? material

　FLUX 助焊剂 SOLDERCREAM 焊锡/焊接剂 三．T TFT 设备中英文标准名称

　 E En ng gl li is sh hn na am me e

　中文名称

　PHOTO

　曝光

　Exposer 曝光机 CoaterDeveloper 陈列黄光制程清洗机-涂布机-显影机 longsizemea测长仪和线宽测量仪

　suringandcriticaldimensionmeasuringmultipleequipment Tit打标机和边缘曝光复合机

　ler&EdgeExposer EdgeExposer 边缘曝光机 AFM 原子力显微镜 FIB 聚焦离子束系统 FE-SEM 场发射扫描电子显微镜 UVMeter UV 照度计 EXCIMERUV 准分子紫外清洗机 I 除静电棒

　onizerBar FireExtinguisher 灭火器 PhotoIonizer 软 X 射线静电消除器 PVD&WET

　溅射& & 湿式

　PVD?(Multi-chamber磁控溅射成膜机

　typesputteringsystem) Particlecounter 尘埃粒子测量仪 UltrasonicCleaner 超声波清洗机 St脱膜机

　ripper ContactAngleAnalyzer 接触角测量仪 RSMeter(4pointProbe) 四探针仪 CassetteC工装篮清洗机

　leaner InitialCleaner 预备清洗机 PreCVDcleaner 成膜前清洗机 HFCleanerbeforeS/D S/D 成膜前带 HF 清洗机 Liqu液体内尘埃粒子测量仪

　idParticleCounter CCSS 中央化学品供应系统 AnnealOven 退火炉 HardBakeOven 后烘炉 FilmTester 薄膜附着力测试仪 Et刻蚀液浓度管理系统

　chantConcentrationManagementSystem DMS 显影液浓度管理系统 DRS 显影液溶剂回收系统 RMS 剥离液浓度管理系统 WetEtcher 湿刻机 4.54.5G 宏观检查机

　G-MacroReviewSystem 4.5G-Mic/MacReviewSystem 4.5G 宏观、微观检查机 RGA(Residual残余气体分析仪

　GasAnalyzer) PECVD

　化学气相沉积

　HotN2TransferSystem 热 N2 供应系统 PECVD 等离子增强化学气相淀积设备 SpecialGasSupply&Mo特种气体供应和监视管理系统

　nitorSystem TemperatureRecorder 温度记录仪 GasScrubberforPECVD PECVD 用尾气处理装置 FullAu平板显示用全自动椭圆偏振光谱仪

　tomaticSpectroscopicEllipsometerforFlatPanelDisplay Clea洁净室起重机设备

　nCrane SpectroscopeReflectometer 平板显示用全自动分光反射光谱仪 HeLeakDetector 氦气检漏仪 DRY

　干刻

　DryPumpfor化学气相沉积设备用真空泵

　CVD DryPumpforPVD 物理气相沉积设备用真空泵 EPDforDryEtching 干刻终点侦测器 DrypumpforDryEtching 干刻机设备用真空泵 Dry干刻灰化一体机

　Etching/AshingSystem ProfilerSystem 段差量测机 ChillerforDryEtching 干刻机辅助设备冷却器 L 干刻用废气处理设备

　ocalScrubberSystemforDryEtching CELL

　制盒

　RubbingLine 摩擦线 BeforePIcleanPI 前清洗机

　er CassetteBF 工装篮缓冲器 PIPrinter PI 涂布机 Pre-Cure 预固化炉 Main-Cure 主固化炉 Loader/Unloader 上下料机 APAPR 板清洗机

　Rcleaner RubbingInspection 摩擦检查机 AfterRubbingCleaner 摩擦后清洗机 ODFSystem ODF 相关设备 Se边框胶涂布机

　alDispenser ShortDispenser 导电胶涂布机 SealDe-bubblingmachine 边框胶脱泡机 UVcure 紫外线固化机 Sp衬垫球固化炉

　acerCureOven Cooling/RotationUnit 冷却/旋转装置 SealCureOven 边框胶固化炉 LCdispenser 液晶滴下机

　LCde-bubbling 液晶脱泡机 VacuumAssembly 真空贴合系统 Mis-alignChecker 对位检查机 VisualInspec目视检查机

　tion ODFInlinetransferandlinecontrolblock ODF 联线传输和软件控制系统 Loader(3port) 上料机 Un下料机

　loader(3port) CassetteBuffer 卡匣缓冲器 TurnAlignBuffer 旋转对位缓冲器 Pairing/NGBuf配对/不良制品缓冲器

　fer SpacerNGBuffer 衬垫球散布不良制品缓冲器 TurnOverAlign 翻转对位器 UVMaskstock UVMask 存储柜 BufferafterUVc紫外线固化后缓冲器

　ure CoolingBuffer 冷却缓冲器 SpacerUSCleaner 衬垫球超声波清洗机 SpacerRemover(USC) 衬垫球聚团去除装置（超声波清洗机）

　USClea边框胶涂布后超声波清洗机

　neraftersealantdispensing USCleaneraftershortdispensing 点胶后超声波清洗机 M 主 PLC

　asterPLC CIMPC CIMPC SealInspection 边框涂布检查机 CellGapInspection 盒厚检查机 DrySpacerSp干式散布机 衬垫球计数器

　ray&Spacercount AutoClave 偏光片贴附后加压消泡机 EdgeGrinder 液晶面板磨边机 LCDPanelcleaningandP液晶面板清洗和偏光板贴附机系统

　olarizerattachsystem PanelCleaner 面板清洗机（用于液晶面板清洗和偏光板贴附机系统）

　PolarizerAttachMachine 偏光板贴附机（用于液晶面板清洗和偏光板贴附机系统）

　L 液晶面板偏光片返工机

　CDPanelPolarizerReworkMachine CellCassette(3"-10.4") 3"-10.4"Cell 卡匣 Sing单刀头切割机

　leheadscriber LCDglassin-lineScriber 液晶面板在线切割机 MultiheadScriber 多刀头切割机 MODULE

　模块

　COGb自动 COG 邦定机

　ondingmachine COGSemi-automaticBondingMachine 半自动 COG 邦定机 Agingtestsy老化测试系统

　stem SignalgeneratorforLCDInspection LCD 检查用信号发生器 AutoOpticalInspectio自动光学检测仪

　n AirParticleCounter 空气尘埃粒子测量仪 Backlighttester 背光源色度亮度测量仪 Projector 投影仪 Microscope 显微镜 Io离子风扇

　nizerblower Surfaceresistancetestkit（点检）表面电阻测量仪 ChargedPlateMoni平面带电测试仪

　tor Staticelectricityvoltagetesting 静电电压测量仪 TEST

　测试

　ADI-AOI 显影后检测 AEI-AOI 刻蚀后检测 CF-AOI 彩色滤光片检测 A 阵列电测机

　rrayTester Open/Shorttesterandprober 开路/短路检测和探针系统 ARRAYO/Sprobe 开路/短路探针系统 TEGProbTEG 探针系统

　er TEGTester TEG 测试系统 ProbeUnitforTEG TEG 测试用探针系统 Arrayrepair 激光修补系统 ArrayProbeframe 阵列电测架 Vis目测用探针系统

　ualtestprobeunit ETProbeunit 2 英寸电测用探针系统 Microscope 显微镜（Panel）

　Microscopeandlaser带激光的显微镜

　system BarcodeReader 条形码阅读器 Fixed2DCodeReader 2 维读码器系统(固定类型) Portable2DCodeReade2 维读码器系统(可移动类型)

　r PI+Macroinspectionsystem PI+Macro 检测系统 CellGapMeasureSystem 盒厚测量系统 LaserTrimm激光切线系统

　er CellLaserRepair 液晶盒激光修补系统 Oscilloscope 示波器 Manualprobe 手动探针系统 PrecisionParameTFT 参数分析仪

　terAnalyzer R&D

　研发

　ProductOpticalQualityMeasurementSystem 产品光学质量检测系统 Optica光学特性量测设备

　lParametersMeasurementSystem Circuitdrawing//Orcad 电路图编辑器 P-spicP-spice 电路仿真器

　eAnalogSimulation PCBArtwork PCB 线路图编辑器 3DMechanicalDesignTool 3D 机械设计工具 2Dstru2D 结构设计工具

　ctureDesignTool PatternGenerator 测试图形发生器 ResistanceAttenuator 电阻衰减器 illu亮度色度计

　minanceColorimeter Spectrophotometer 亮度色度光谱仪 ColorAnalyzer 色彩分析仪 R,L,CMeR,L,C 测试仪

　asurement ESDGun(EMI/EMS)table 静电枪台 UVTESTchamber 紫外线测试箱 Sealdispenser 边框胶涂布机

　threeaxisMeasurementStage 三轴量测平台 Pre-tiltangle&cellgapmeasureme倾斜角盒厚量测仪

　ntsystem LCresistivitymeter 液晶电阻率测量仪 Oscilloscope(Analog) 模拟示波器 Thermo-hy恒温恒湿柜

　grostat ThermalShockChamber 冷热冲击舱 ESDGun(EMI/EMS) 静电枪 Liquidcrystali灌晶机

　njectionmachine Plasmacleaningmachine 等离子清洗机 SimulationsoftwareoLCD 光学特性模拟软件

　fLCDOpticalparameters Layouteditorformask 版图设计软件 CIM

　集成控制

　CIMSystem?-.Man计算机集成制造系统?-.制造执行系统?-.机台预防保养系统?-.统计制程管制?-.设备自动化?-.报表系统?-.工程数据分析?-.产成品管理系统?-.工程数据库

　ufacturingExecutionSystem(MES)?-.PreventiveMaintenanceSy

　stem(PMS)?-.StatisticalProcessControl(SPC)?-.EquipmentAu

　tomationProgram(EAP)?-.ReportSystem?-.EngineeringDataAna

　lysis(EDA)?-.FinishedGoodsManagementSystem(FGMS)?-.Engin

　eeringDataBase(EDB) OperatorInterfaceClient(OIC) 操作者界面 FABMonit工厂监控系统

　oringClient(FMC) Dispatcher(DSP) 任务分配系统 FaultDetectionandClassif缺陷检查和分类系统

　ication(FDC) AlarmManagementSystem(AMS) 机台报警系统 RealTimeAnalysis/缺陷管理的实时监控/分析系统

　MonitoringSystem(RTAMS) SystemManagementSystem(SMS) 系统管理系统 AMHS

　物料搬运

　Unpac拆包线?-.拆包机?-.玻璃传送带?-.预清洗?-.下料机

　kingline?-.Unpacker?-.Glassconveyor?-.InitialCleaner?-.U

　nloader CassetteManualGuideVehicle(MGV) 工装篮人工引导车 ArrayCassette Array 工装篮 ODFCODF 工装篮

　assette AutomatedMaterialHandlingSystem(AMHS)?-.CleanSto自动物料搬运系统?-.洁净堆料机（STK）?-.天车搬送系统（OHS）?-.物料控制系统（MCS）

　cker(STK)?-.OverheadHandlingSystem(OHS)?-.MaterialContro

　lSystem(MCS) CleanRobot 洁净机械手 Loader/Unloader 上下料机 Sorter 分片机 CIMServer

　集成控制 系统 服务器 MESDBServer MES 数据服务器 M MES 应用服务器

　ESAPPServer EDA/EDBServer EDA/EDB 服务器 FDCServer FDC 服务器 PMSServer PMS 服务器 YMSServer YMS 服务器 File文件服务器

　Server CentralizedBackup/RecoveryServer 中央备份服务器 DevelopmentServer 开发服务器

　TestingServer 测试服务器 Storage/DiskArray 磁盘阵列 SANSwitch/StorageLink SAN 交换机 Tape磁带库

　Library Switch 网络交换机 Router 网络路由器 Firewall 网路防火墙 MessageBus 信息总线 TIBCORendezvous TIBCO 消息集聚器 Dat数据保护者

　aProtector Facility

　工程

　ExhaustFan(FRP) 排气风机（玻璃钢离心式）

　UPWsystem 纯水超纯水设备 Autocontrolsystem 自动控制系统 CDAs压缩空气系统

　ystem Bulkgassupplysystem 大宗气体供应系统 ExhaustFan 排气风机 FanFilterUnit 送风过滤系统 Gasandli气体和液体测漏系统

　quidleakdetectionsystem Dieseloilgenerator 柴油发电机系统 VOCscrubber 有机物蒸气洗净机 Pla工厂真空系统

　ntVacuumpump cleaningvacuumpump 清洁真空系统 wastewatermonitorsystem 废水检测系统 ve空气烟感探测分析系统

　sdasystem chiller 冷水机组 coolingtower 冷却塔 HVACPUMP 空调水泵 heatenergysupplysys集中供热系统

　tem LPGsystem LPG 站系统 PCWsystem PCW 系统 35KVtransformer 35KV 变压器 Telephonesystem 电话系统 CATV有线电视系统

　system broadcastingsystem 广播系统 firealarmsystem 火警系统 WWT 废水处理系统 35KVswitchdev35KV 开关装置

　ice Mvswitchgears,castcoiltransformers,unitsubstations,p中压变配电系统

　owerscada Security&CCTVsystem 安保和闭路电视系统 Firefightingsystem 消防系统 Analysis

　room

　分析室

　Singlehea单刀头切割机

　dscriber ContactAngle 接触角测量仪 Eyewash 洗眼台 Wetstation 带通风橱的中央实验台 四．T TFT 生产常用中英文名称

　 Englishname

　中文名称

　General

　一般专有名词

　LCD(LiquidCrystalDisplay) 液晶显示器 Glass,substrateorglasssubstrate 玻璃基版 TFT(ThinFilmTransistor) 薄膜晶体管 Panel 面板 Array 阵列 Cell 液晶盒 Module 模块 Monitor 监视器 Pixel 像素 Computer 电脑 Notebook－PC 笔记本电脑（简称为 NB）

　RGB(Red,Green,Blue) 指红绿蓝三基色 PM(PreventiveMaintenance) 预防保养 Quality 品质 Standard 标准(指作业标准或质量指针) Material 材料 Yield 良率 CIM (ComputerIntegrationManufacturing) 计算机集成制造（指以计算机系统整合制造流程）

　FA(FactoryAutomation) 工厂自动化 Exit 出口 Precaution 注意 Warning 警告 Emergency 紧急 Alarm 警报 CleanRoom

　洁净 室

　Cleanroom 洁净室 HEPA(HighEfficientParticulateAir)filter 高效能粒子空气过滤网 Contamination 污染 Temperature(TEMP) 温度 Humidity 湿度 Pressure 压力 UPW(Ultra-PureWater) 超纯水 DIW(De-IonizedWater) 去离子水 IPA(IsopropylAlcohol) 异丙醇 Stickymat 粘尘垫 Cleanliness 洁净度 ESD(Electro-staticDischarge) 静电放电 Laminarflow 层流（流体力学名词）

　Turbulentflow 扰流（流体力学名词）

　Alcohol 酒精 Acetone 丙酮 Particle 微粒子 Dust 灰尘 Gowningroom 换衣间 Raisedfloor(gratingfloor) 高架地板 Airshower 风淋室 Prohibit 禁止 Cleansuit (bunnysuit,dust-freegarment) 无尘服 Glove 手套 Hairnet 网帽 Hood 头罩 Mask 口罩

　Cleanshoes(dust-freeshoes,boots) 无尘鞋 FactoryAutomation

　工厂 自 动 化

　Vehicle 搬运车 Robot 机械手 AGV(AutomaticGuidedVehicle) 自动搬运车 MGV(ManualGuidedVehicle) 人工搬运车 Cleanlifter 净化电梯 LIM(LinearInductionMotor)Carrier 线性感应马达传送载具 OHS(OverheadHandlingSystem) 天车搬送系统 Stocker(cleandepot) 工装篮存放架 Battery 电池 Bay 作业区 Inter-bay 作业区和作业区之间 Intra-bay 作业区之内 Bumper 减震缓冲器 Charger 充电器 Controller 控制器 Conveyor 传送带 Crane 吊车（在 Stocker 内）

　FFU(FanFilterUnit) 风扇过滤器 Host 主机 I/O(Input/Output) 输入/输出 IR(Infra-Red) 红外线 IRIF(Infra-RedInterface) 红外接口 Load 上料 Unload 下料 Magnetictape 磁条(AGV 路径所使用的磁条) Retrieve 检索 RTM(RotaryTransferMachine) 旋转传送机构 SCARAarm AGV 传送臂 Reset 重新设定 Transportation 传输 OperationInstruc tion

　生产操作系统

　Recipe 工艺参数的组合 Stockout 将 Cassette 取出货栈 Request 要求,请求 Transfer 传送,运送 Instruction 命令,指令 Select 选择 Cancel 取消 Operation 作业,操作 Support 支援,支持 Process 工艺 Start 开始

　Comp. 完成（Completion 的缩写）

　Batch 批量 Lot 批(指生产线的在制品或产品控制单位) ID(Identity) 识别码(如 LotIDorChipID) Sheet 片(Array 区玻璃基版计数单位) Chip 片(Cell 区玻璃计数单位) Inspection 检验 Defect 缺陷 Production 生产 Hold 滞留 Release 释放 Equipment 设备（简称为 EQP）

　Tool 工具,机台 WIP(WorkInProcess) 在制品（工艺在制品）

　Maintenance 维修保养 Cassette 工装篮(阵列段),卡夹(制盒段及模块段) Empty 空的 Reserve 预备 Report 报告 Scrap 报废 Rework 返工 Logon 登录，入系统 Logoff 注销登录，离开系统 Note 批注 Array

　阵列段

　Stepper 步进式曝光机 Backside-Exposure 背面曝光 RIE(Reactiveionetching) 反应性离子刻蚀 PE(PlasmaEtch) 等离子刻蚀机 ICP(InductiveCoupledPlasma) 电感偶式等离子刻蚀机 O 3 Asher 臭氧灰化（为去光刻胶机的模块之一，用来去除工艺的有机残留）

　CJ 指高压水洗 MS 指超音波水洗 Heat 加热 Cool 冷却 Spec 规格 Brush 毛刷（清洗机所使用之软刷）

　DI;DIwater;DeionizedWater 去离子水 UPW 超纯水 Vent 破真空，真空环境下的玻璃送至 LoadLock 闭锁时，通入氮气平衡压力，以防止剧烈的气压变化造成破片 Purge 清洁（用 CF 或 NF 系列的气体通入 CVD 清除器壁累积的硅）

　Rinse 冲洗 Veri-Code 二维码

　Bar-Code 条形码 Vacuum 真空 Plasma 等离子 PE(PlasmaEtch) 等离子刻蚀机 Uniformity 均匀性(类似(大-小)/平均值的概念) EtchingRate 刻蚀速率(=刻蚀厚度/时间) Cell

　制盒段

　Detergent 清洁剂 γ-Butyrolactone γ-丁内酯,简称γ液,用于清除 APR 版上的 PI PS(PhotoSpacer) 光刻胶衬垫料（功能与普通的 Spacer 相同,一般用于大尺寸产品,且可得到较好的 cellgap）

　UVsealant UV 胶（用于两块玻璃基板组合时假固定用）

　Polyfron 均压纸（基板压合时使用,用于分隔基板,可使压力均匀分布以及减少杂质所造成的损害）

　CDA(CompressedDryAir) 压缩高压干燥空气 Controlbox 电源控制箱 Valve 阀门,控制阀 Breaker 电源开关,继电器 Cleanbooth 洁净工作台 模块段

　Module

　Chip 芯片 Tape 胶带 Screw 螺丝 FPC(FlexiblePrintedCable) 柔性印刷线路板 PCB(PrintedCircuitBoard) 印刷电路板 TAB(TapeAutomatedBonding) 自动连带式贴合 OLB(OuterLeadBonding) 外引脚接合 ILB(InnerLeadBonding) 内引脚接合 COG(ChiponGlass) 芯片压合在玻璃 ACF(AnisotropicConductivefilm)Film) 各向异性导电膜

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